포스텍(포항공과대)은 전자전기공학과 이정수 교수<사진>와 박사과정 김기현 씨 연구팀이 NASA 연구팀과 함께 나노선 센서에 벌집모양의 3차원 부유 그물망 구조를 적용해 새로운 구조의 나노선 바이오센서를 개발했다. 이 같은 3차원 부유 구조는 직선으로 돼 있는 다른 센서와 달리 주변 기판의 불순물 등의 영향을 받지 않아 감도를 향상시킬 수 있는 것으로 밝혀져 있지만 높이가 길이에 비해 너무 높기 때문에 나노선이 쓰러지거나 서로 달라붙는 현상이 일어나 구조물 제작에 어려움을 겪어 왔다. 연구팀은 Y자가 반복되는 벌집모양을 응용해 웨이퍼(SOI)위에 30나노미터(nm) 너비를 갖는 3차원 부유 그물망을 만들었으며 이 구조는 안정성을 향상시키는 한편 직선구조에 비해 넓은 표면적을 가질 수 있는 장점이 있다고 밝혔다. 연구팀은 개발된 소자로 전기적 특성과 수소 이온 검출 실험을 수행해 고감도 바이오 센서로 응용할 수 있는 가능성을 입증하기도 했다. 연구팀은 이 연구결과를 바탕으로 조류독감 진단 센서와 심장병 조기 진단 센서 등에 응용하는 연구를 실행할 예정이다.
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